1. Indlæsning
Placer den belagte kvartsdigel på varmevekslerbordet, tilsæt siliciumråmateriale, installer derefter varmeudstyr, isoleringsudstyr og ovndæksel, evakuer ovnen for at reducere trykket i ovnen til 0,05-0,1 mbar og opretholde vakuum. Indfør argon som en beskyttelsesgas for at holde trykket i ovnen stort set på omkring 400-600 mbar.
2. Opvarmning
Brug en grafitvarmer til at opvarme ovnlegemet, fordamp først fugten, der er adsorberet på overfladen af grafitdele, isoleringslag, siliciumråmaterialer osv., og varm derefter langsomt op for at få temperaturen på kvartsdigelen til at nå omkring 1200-1300℃. Denne proces tager 4-5 timer.
3. Smeltning
Indfør argon som en beskyttelsesgas for at holde trykket i ovnen stort set på omkring 400-600 mbar. Øg gradvist varmeeffekten for at tilpasse temperaturen i diglen til omkring 1500℃, og siliciumråmaterialet begynder at smelte. Hold omkring 1500℃under smeltningsprocessen, indtil smeltningen er afsluttet. Denne proces tager omkring 20-22 timer.
4. Krystalvækst
Efter at siliciumråmaterialet er smeltet, reduceres varmeeffekten for at få digelens temperatur til at falde til omkring 1420-1440 grader℃, som er smeltepunktet for silicium. Derefter bevæger kvartsdigelen sig gradvist nedad, eller isoleringsanordningen stiger gradvist, så kvartsdigelen langsomt forlader varmezonen og danner varmeveksling med omgivelserne; samtidig ledes vand gennem kølepladen for at reducere temperaturen på smelten fra bunden, og der dannes først krystallinsk silicium i bunden. Under vækstprocessen forbliver faststof-væske-grænsefladen altid parallel med det vandrette plan, indtil krystalvæksten er afsluttet. Denne proces tager omkring 20-22 timer.
5. Udglødning
Efter at krystalvæksten er afsluttet, kan der på grund af den store temperaturgradient mellem bunden og toppen af krystallen forekomme termisk spænding i barren, som er let at bryde igen under opvarmningen af siliciumwaferen og klargøring af batteriet . Derfor, efter at krystalvæksten er afsluttet, holdes siliciumbarren nær smeltepunktet i 2-4 timer for at gøre temperaturen på siliciumbarren ensartet og reducere termisk stress.
6. Afkøling
Efter at siliciumbarren er udglødet i ovnen, skal du slukke for varmestrømmen, hæve varmeisoleringsanordningen eller sænke siliciumbarren helt og indføre en stor strøm af argongas i ovnen for gradvist at reducere temperaturen på siliciumbarren til næsten stuetemperatur; samtidig stiger gastrykket i ovnen gradvist, indtil det når atmosfærisk tryk. Denne proces tager omkring 10 timer.
Indlægstid: 20. september 2024
